全氟己酮用作清洗剂

全氟己酮可用作蒸汽反应器和蒸汽反应器部件的湿清洗剂，以及清洗气相反应器中积累的不需要沉积物、蚀刻气相反应器中的介电或金属材料以及在气相反应器中掺杂的各种材料。

实际应用中有各种液态化学制剂清洗，通常包括各种烃如丙酮或异丙酮，和各种含氟化学剂如全氟烃及全氟代氮化合物。水和烃不易解决含氟聚合物的残余物，此外水需要很长的干燥时间，而烃具有可燃性。而含氟化合物都是非常稳定的，并有可能促使全球变暖，且难以用气体洗涤器捕获或处理。全氟己酮则克服了以上传统清洗剂的缺点，清洗效果显著且对全球变暖趋势影响小。